펨트론, HBM 본딩 적층 검사장비 국내 IDM에 공급

반도체 검사장비 전문기업 펨트론이 국내 종합반도체 기업(IDM)에 고대역폭메모리(HBM) 검사장비 공급을 확정했다. 지난해 고객사로부터 진행한 품질테스트가 통과되며 공급을 확정한 것이다. 해당 검사장비는 HBM 공정에서 기존에는 검사하지 않았던 접합(본딩) 이후 결함을 파악할 수 있다. HBM은 수직으로 D램을 쌓아 구현하는데 해당 공정 이후 적층이 바르게

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